superfine photoresist

фоторезист с особо высокой разрешающей способностью

photoresist etching — травление с использованием фоторезиста

photoresist burnoff — плазмохимическое удаление фоторезиста

photoresist spinner — центрифуга для нанесения фоторезиста

photoresist coater — установка для нанесения фоторезиста

photoresist mask pattern — рисунок в слое фоторезиста